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真空度測試儀的檢定規程是確保真空度測試儀測量準確性和可靠性的重要步驟。以下是一套基于多個權威來源綜合的真空度測試儀檢定規程概述： 一、檢定目的本規程旨在為真空度測試儀的檢定工作提供一套完整、科學、規范的方法和程序，以確保其測量結果的準確性和可靠性。 二、適用范圍本規程適用于各種型號的真空度測試儀，包括但不限于質譜儀、真空計、壓力計等。 三、檢定設備- 標準壓力計：用于提供標準壓力值，其精度應不低于被檢真空度測試儀的測量范圍。
- 標準真空計：用于提供標準真空度值，其精度同樣應不低于被檢真空度測試儀的測量范圍。
- 電源及穩壓器：為真空度測試儀提供穩定的電源。
- 數據采集與分析系統：用于采集真空度測試儀的測量數據，并進行數據處理和分析。
四、環境條件- 溫度：檢定應在溫度穩定的環境中進行，一般要求溫度波動不超過±2℃。
- 濕度：相對濕度應不大于70%（或根據不同儀器要求調整，有的儀器要求≤80%RH）。
- 振動：檢定場所應無明顯的振動源，保證真空度測試儀不受振動影響。
- 電磁干擾：檢定場所應無強電磁干擾源，以免影響儀器正常工作。
五、檢定步驟- 準備階段：
- 檢查檢定設備是否齊全、完好，確認環境條件滿足要求。
- 根據被檢真空度測試儀的型號和測量范圍，選擇合適的標準壓力計和標準真空計。
- 連接與設置：
- 將標準壓力計、標準真空計與被檢真空度測試儀相連接，確保密封良好。
- 按照真空度測試儀的使用說明，正確設置儀器參數。
- 測量與記錄：
- 啟動真空度測試儀，記錄標準壓力計和標準真空計的壓力值或真空度值。
- 重復進行至少3次測量，以獲得可靠的測量結果。
- 數據處理：
- 根據測量數據，計算真空度測試儀的示值誤差、重復性和線性誤差等參數。
六、判定與調整- 判定：根據測量數據，計算真空度測試儀的各項誤差參數。若誤差在允許范圍內，則判定為合格；否則，判定為不合格。
- 調整與復檢：對不合格的真空度測試儀進行調整或維修后，需重新進行檢定。
七、注意事項- 在檢定過程中，應始終保持儀器連接的密封性，防止外界氣體滲入影響測量結果。
- 在操作過程中，應注意避免對儀器產生過大的沖擊和振動，以免損壞儀器內部結構。
- 對于具有自動校準功能的真空度測試儀，應按照使用說明進行操作，以保證測量結果的準確性。
- 在數據處理時，應充分考慮測量數據的離散性，避免誤差的積累。同時，應對數據進行適當的修正和補償，以提高測量結果的可靠性。
八、其他- 儀器存放：真空度測試儀應存放在干燥、清潔、通風的環境中，避免受潮、腐蝕和振動。
- 定期校準：為確保測量結果的長期準確性，建議定期對真空度測試儀進行校準。
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發表于 2024-9-2 14:38:43
