等離子去膠機(jī)清潔規(guī)范

ninali

等離子去膠機(jī)的腔室清潔是保障良率的核心防線，需建立三級清潔體系（日常/預(yù)防/深度），嚴(yán)控副產(chǎn)物聚合物沉積帶來的致命風(fēng)險：  
??一、日常清潔（每班次執(zhí)行）??  
??核心目標(biāo)??：抑制活性自由基聚合物  
??腔壁擦拭??：停機(jī)后立即用無紡布蘸取電子級異丙醇（IPA），以同心圓路徑擦拭腔壁及電極表面，重點(diǎn)清除粘性氟碳化合物（防止后續(xù)高溫碳化）  
??石英窗透光率保衛(wèi)戰(zhàn)??：  
用氟化銨緩沖液（BHF：HF/NH?F=1:7）浸透超細(xì)海綿  
單向輕拂石英視窗＞5次，透光率需維持92%以上  
??氣體噴淋頭搶救??：200μm孔徑用0.1MPa氮?dú)夥创担匠暡ㄕ袷幤鳎?0kHz）震落嵌壁微粒  
??二、預(yù)防性清潔（每50片晶圓/8小時）??  
??工藝原理??：氧等離子體燃燒碳化聚合物  
??原位干法清洗（關(guān)鍵！）??：  
充入純氧至2Torr，啟動2000W射頻功率  
維持60分鐘，監(jiān)測CO?濃度峰值（＞5000ppm表明反應(yīng)完全）  
??電極活化再生??：通入10%NF?/氬混合氣，低溫模式（150℃）蝕刻鋁電極表面氧化層2μm  
??真空管路排毒??：尾氣閥切至燃燒塔，950℃高溫分解劇毒COF?生成物  
??三、深度清潔（每500片/周）??  
等離子去膠機(jī)拆解操作（必須降溫至25℃！）??  
??電極板復(fù)活手術(shù)??：  
拆下鋁制電極浸泡于磷酸/醋酸混合液（3:1）  
陽極氧化處理重建10μm陶瓷防護(hù)層  
??腔體噴砂重生??：50μm氧化鋁顆粒沖擊內(nèi)壁，粗糙度Ra控制0.8±0.1μm（過光滑導(dǎo)致等離子體湍流）  
??隱藏殺手清除??：用內(nèi)窺鏡檢查腔體鉸鏈死角，超聲探針震落＞10μm的燒結(jié)物  
??四、清潔效果驗證（量化標(biāo)準(zhǔn)）??  
??痕量檢測??：晶圓級殘留金屬離子（Na?/K?）＜1E10atoms/cm2  
??等離子體均一性測試??：空白硅片去膠速率波動≤±2%(9點(diǎn)測試)  
??粒子監(jiān)控??：清潔后首片晶圓增量為＜5顆（≥0.2μm）  
??五、周期調(diào)整的黃金法則??  
???縮短清潔間隔的紅色警報??：  
工藝氣體含碳量上升（CF?占比＞20%）  
OES檢測到388nm氰基（CN*）特征峰  
腔體視窗透光率周衰減＞3%  
???可延長周期綠色信號??：  
啟用He/O?混合氣替代純氧（聚合物生成率降低40%）  
電極表面鍍類金剛石涂層（DLC）

化學(xué)儀器坊

這個問題挺有意思的，加入討論。

zhouyiq

你分享的經(jīng)驗對我很有幫助，謝謝！