氦質譜檢漏儀的檢漏方法

昕瑞德環保

　　氦質譜檢漏儀的檢漏方法主要有以下幾種：

　　一、噴吹法(也稱正壓法)

　　原理

　　在被檢件內部充入一定壓力的氦氣(通常為幾個大氣壓)，使氦氣通過漏孔泄漏到外部。然后用氦質譜檢漏儀的吸槍在被檢件外部可疑泄漏部位進行檢測。當吸槍靠近漏孔時，漏出的氦氣會被吸入檢漏儀中，從而檢測到氦氣信號。

　　操作步驟

　　密封與充氣：首先要確保被檢件能夠承受一定的內部壓力，并將其密封好。然后使用氦氣源向被檢件內部充入氦氣，記錄充入的氦氣壓力、流量等相關參數。例如對于一個小型的金屬容器，可使用專用的密封夾具和管路連接氦氣源，充入氦氣至3 - 5個大氣壓。

　　檢測：開啟氦質譜檢漏儀并預熱使其達到穩定的工作狀態。操作人員手持吸槍，按照預先規劃的掃描路徑對被檢件表面進行檢測。一般從可能泄漏概率較高的部位開始，如焊縫、密封接口、接頭處等。當檢漏儀顯示的氦氣信號超過設定的本底噪聲值加上一定的閾值(如本底噪聲值+3倍標準偏差)時，即可判斷此處存在泄漏。在檢測過程中，需要根據被檢件的形狀、大小合理控制吸槍的掃描速度，以確保不漏檢，例如對于復雜形狀的工件，掃描速度要適當放慢，一般在1 - 5厘米/秒。

　　二、真空法

　　原理

　　將被檢件置于真空室內或與真空系統相連，對其內部抽空形成一定的真空度。如果被檢件存在泄漏孔，外部環境中的氦氣會通過漏孔進入被檢件，處于真空狀態下由抽氣系統抽出，進而進入氦質譜檢漏儀被檢測到。因為在真空中，氣體分子的平均自由程增大，有利于氦氣迅速到達檢漏儀的檢測部分。

　　操作步驟

　　準備與抽真空：把被檢件連接到真空系統上，可以使用金屬密封法蘭或者橡膠密封件來保證連接的密封性。啟動真空泵對被檢件及其連接的真空系統進行抽真空，抽到規定的真空度，例如對于一些精密的真空設備檢漏，真空度要求達到1×10?3 - 1×10?? Pa之間。同時，記錄抽真空過程中的壓力變化曲線以初步判斷是否存在大的泄漏。長時間壓力降過大往往表示存在較嚴重的泄漏。

　　檢漏：打開氦質譜檢漏儀的進氣閥門，使被檢件與檢漏儀連通。在被檢件外部可疑部位噴射氦氣，如果存在泄漏，氦氣會進入被檢件內部的真空環境并被檢漏儀檢測到，從而確定泄漏位置。在噴射氦氣時，同樣要注意方式和順序，先對最有可能泄漏的部位進行噴霧觀察，如重點檢查設備的每個連接處、閥門密封處等。

　　三、氦罩法

　　原理

　　采用一個特殊設計的可以包容被檢件一部分或全部的封閉罩(氦罩)。將氦罩充滿氦氣，使其中的被檢件暴露在高濃度的氦氣環境中，如果被檢件存在泄漏，氦氣就會通過漏孔進入被檢件內部(若被檢件內部為真空情況)，或者與被檢件內部原有氣體混合后泄漏到外部(若被檢件內部有氣體且內外有壓力差的情況)，然后被氦質譜檢漏儀檢測到。

　　操作步驟

　　安裝氦罩：根據被檢件的形狀和大小選擇合適的氦罩。若是大型的圓柱形容器類被檢件，就需要定制能夠完全包裹該容器一段或多段的氦罩。將氦罩小心地安裝在被檢件對應的部位上，并確保氦罩本身密封良好，防止氦氣泄漏。例如使用硅膠密封條密封氦罩的邊緣，并用夾具固定。

　　充氦與檢測：向氦罩內充入氦氣至一定壓力，開啟氦質譜檢漏儀進行檢測。如果被檢件內部為真空，則直接觀察檢漏儀的讀數有無異常升高;若被檢件內部有氣體，需要關注氦氣混入氣體后的泄漏變化情況，并綜合分析檢測數據以判斷是否存在泄漏。

　　四、封堵法(又稱累積法)

　　原理

　　適用于一些微小泄漏的檢測。它是先對被檢件密封并記錄初始狀態下的氦氣含量(可以是背景氦含量)，經過一段時間的積累，如果存在微小泄漏，外界的氦氣會逐步滲透進入被檢件內部或從內部泄漏出來，導致氦氣的量發生可檢測的變化，再用氦質譜檢漏儀進行檢測對比前后氦氣量的變化來確定是否有泄漏。

　　操作步驟

　　密封與記錄：將被檢件徹底密封起來，如對于電子元器件封裝體，可以使用專門的密封膠灌封外層，同時對密封空間進行除氦處理，降低初始氦含量，并利用氦質譜檢漏儀測量此時的氦氣量作為基準值。

　　等待與測量：在規定的時間(如幾個小時甚至幾天，根據被檢件的性質和預計泄漏率來確定)之后，再次用氦質譜檢漏儀測量被檢件內或附近的氦氣量。將測量結果與初始基準值進行比較，如果氦氣量有明顯增加(超出統計誤差范圍)，則表明存在泄漏現象。

歲月神偷

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