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標題:
掃描電鏡的工作原理
[打印本頁]
作者:
早安瑪卡巴卡
時間:
2024-10-9 08:30
標題:
掃描電鏡的工作原理
掃描電子顯微鏡（SEM）是一種利用電子束掃描樣品表面并獲得高分辨率圖像的儀器。其工作原理可以分為以下幾個主要步驟：
1.
電子束產(chǎn)生
電子槍
：在真空環(huán)境中，電子槍通過加熱或場發(fā)射的方式發(fā)射出自由電子。常見的電子源包括鎢絲和場發(fā)射陰極。
2.
電子束聚焦
透鏡系統(tǒng)
：發(fā)射出的電子經(jīng)過電磁透鏡的聚焦形成細小的電子束。透鏡的調(diào)節(jié)可以控制電子束的直徑和強度。
3.
樣品掃描
掃描線圈
：由掃描線圈控制電子束在樣品表面上快速橫向移動，按行掃描樣品。這種方式類似于電視圖像的刷新過程。
4.
與樣品相互作用
當電子束撞擊樣品表面時，發(fā)生多種相互作用：
二次電子
：從樣品表面逸出的低能電子，用于產(chǎn)生樣品的表面圖像。
反射電子
：高能電子反彈產(chǎn)生的信息，提供樣品的成分和結(jié)構(gòu)信息。
特征X射線
：通過激發(fā)樣品中的原子發(fā)出特征X射線，提供樣品的元素組成信息。
5.
信號收集
探測器
：收集產(chǎn)生的二次電子和其他信號。常用的探測器有二次電子探測器（SED）和反射電子探測器（BED）。
6.
圖像形成
圖像顯示
：探測器將收集到的信號轉(zhuǎn)化為電信號，經(jīng)過放大和處理后，形成圖像并在屏幕上顯示。圖像的灰度與信號的強度有關(guān)，可以反映樣品的表面形貌和結(jié)構(gòu)。
7.
數(shù)據(jù)分析
圖像可以進一步處理和分析，以獲取關(guān)于樣品的更多信息，如尺寸、形狀、表面粗糙度等。
優(yōu)點
SEM具有高分辨率（可達到納米級）和較大的景深，適合觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
應(yīng)用
SEM廣泛應(yīng)用于材料科學、生命科學、半導體工業(yè)以及納米技術(shù)研究等領(lǐng)域。
作者:
expert360
時間:
2024-10-9 08:43
學習了學習了
作者:
Dodiemo
時間:
2024-10-24 04:11
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