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標(biāo)題: 高精密冷水機(jī)核心應(yīng)用場(chǎng)景與技術(shù)需求 [打印本頁(yè)]

作者: ninali    時(shí)間: 2025-8-15 14:23
標(biāo)題: 高精密冷水機(jī)核心應(yīng)用場(chǎng)景與技術(shù)需求
高精密冷水機(jī)核心應(yīng)用場(chǎng)景與技術(shù)需求  
1.半導(dǎo)體制造:??  
?光刻機(jī)鏡頭冷卻:??消除光學(xué)系統(tǒng)熱變形,維持納米級(jí)曝光精度。  
?離子注入/蝕刻腔體控溫:??保證工藝腔體溫度均勻性(±0.1℃),提高良率。  
2.激光加工:??  
?高功率激光器(CO?/光纖/固體):??冷卻激光發(fā)生器、諧振腔、光閘、QBH頭,防止熱透鏡效應(yīng)導(dǎo)致光束質(zhì)量下降。  
?加工頭冷卻:??保護(hù)精密光學(xué)元件免受熱損傷。  
3.**與生命科學(xué):??  
?MRI核磁共振成像儀:??冷卻超導(dǎo)磁體(維持液氦環(huán)境)、梯度線圈、射頻系統(tǒng)。  
?基因測(cè)序儀/電子顯微鏡:??為檢測(cè)器、真空系統(tǒng)提供穩(wěn)定低溫環(huán)境。  
?CT/PET掃描設(shè)備:??冷卻X射線球管及探測(cè)器。  
4.精密分析儀器:??  
?質(zhì)譜儀、色譜儀:確保離子源、探測(cè)器溫場(chǎng)穩(wěn)定,保障數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。  
?半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀:消除測(cè)試探針卡熱漂移誤差。  
5.工業(yè)檢測(cè)設(shè)備:??  
?紅外熱像儀傳感器:冷卻至深低溫(如-10℃),提升信噪比與靈敏度。  
6.特殊工藝?yán)鋮s:??  
?注塑模具冷卻(精密光學(xué)透鏡/**部件)、擠出機(jī)溫控、反應(yīng)釜精確控溫。  
高精密冷水機(jī)的核心技術(shù)要求:??  
?溫度穩(wěn)定性極高:??出水溫度波動(dòng)≤±0.1℃(常要求±0.01~0.05℃)。  
?溫度范圍寬且精確可控:??覆蓋高溫冷卻(如+35℃)至深低溫(如-40℃,需低溫冷媒)。  
?熱負(fù)載變化響應(yīng)迅速:??在設(shè)備功率突變時(shí)快速恢復(fù)設(shè)定溫度,防止溫度過(guò)沖。  
?低熱慣性設(shè)計(jì):??減小系統(tǒng)自身儲(chǔ)熱/儲(chǔ)冷變化對(duì)溫場(chǎng)的影響。  
?長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行可靠性高:??MTBF(平均無(wú)故障時(shí)間)>100,000小時(shí)。  
?無(wú)振動(dòng)干擾:??壓縮機(jī)振動(dòng)隔離優(yōu)良,避免影響精密設(shè)備。  
?超低水阻:??減少冷卻水流量變化對(duì)末端壓降敏感設(shè)備的影響。


作者: 不點(diǎn)兩杯沒(méi)貼紙    時(shí)間: 2025-11-4 01:18
很有意義的話題,大家不要錯(cuò)過(guò)。




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