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標題: 等離子去膠機發生等離子體突然熄滅的可能原因有哪些？ [打印本頁]
作者: ninali    時間: 2025-7-17 16:55
標題: 等離子去膠機發生等離子體突然熄滅的可能原因有哪些？
當等離子去膠機突發電離崩潰，產線即刻陷入癱瘓。這一致命故障的背后，往往隱藏著三類系統性失效。每一分鐘的停機都意味大額損失，必須分層快速鎖定病灶：  
??第一防線：真空堡壘崩塌??  
真空泄露是等離子熄滅的首因（占等離子去膠機故障68%）：  
??氣壓背叛性飆升??：腔體壓強在5秒內驟升＞50mTorr，擊碎等離子體維持條件（<10?1Torr）。  
??三重泄漏源圍獵??：腔門O形圈龜裂（壽命＜10萬次）；電極饋入端口密封失效（氟橡膠250℃高溫脆化）；真空計導氣管穿孔（振動疲勞裂紋）??閃電排查方案??：  
氦質譜儀定位泄漏點（靈敏度10??mbar·L/s）  
緊急更換金屬密封圈（銅墊片可耐受-196℃~450℃沖擊）  
??第二防線：能量輸送叛變??  
射頻系統異常導致能量供應中斷：  
??阻抗匹配失衡??：反射功率＞15%觸發保護斷電（正常＜3%），根源常為：；電極表面碳化層增厚（電阻率暴增100倍）；匹配器電容卡死（真空電容轉子變形）  
??電源模塊暴斃??：IGBT功率管熱擊穿（結溫＞175℃），散熱風扇失效是元兇??重生策略??：  
立即執行匹配器校準：容抗/感抗補償值誤差需＜0.5%  
紅外熱像儀掃描電源柜，溫差＞15℃的模塊強制更換  
??第三防線：生命氣體斷供??  
工藝氣體流動受阻直接窒息等離子體：  
??MFC（質量流量控制器）猝死??：噴嘴被氧化鋁顆粒堵塞（粒徑＞0.3μm即致命）；線圈短路導致閥門閉鎖  
??供氣管路冰堵??：液態CO?汽化時溫度驟降至-78℃，水分凝結冰封管道??反殺操作手冊??：  
MFC反向脈沖清洗：注入3bar高壓氬氣爆破堵塞物  
管路加裝電伴熱帶（維持40℃防凝結）

作者: 連翹很甜    時間: 5 天前
這個討論真是讓我大開眼界，學到了很多。



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