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標題: 等離子去膠機常見故障診斷與解決 [打印本頁]

作者: ninali 時間: 2025-7-17 15:55
標題: 等離子去膠機常見故障診斷與解決
故障一：等離子體異常熄滅（生產急停）??
???高頻誘因??：
①RF匹配器失效（反射功率＞10%）
②真空泄漏（腔壓5秒內飆升＞50mTorr）
③工藝氣體流量驟降（MFC堵塞或電磁閥故障）
??應急方案??：
檢查真空泵油位及密封圈（尤其腔門O形圈）
手動觸發RF源自檢程序，監聽13.56MHz震蕩器異響
拆解氣體管路，超聲波清洗MFC內部微粒
??故障二：等離子去膠機去膠均勻性劣化（邊緣殘留/中心過刻）??
???核心病灶??：
①靜電卡盤（ESC）氦氣泄漏（溫度波動＞±5℃）
②電極板表面聚合物堆積（厚度＞100μm）
③腔室石英窗污染（透光率下降至＜70%）
??修復策略??：
ESC泄漏測試：注入2psi氦氣，壓降率＞5%/min需更換密封圈
啟動自動腔室清洗（O?等離子體120分鐘，功率密度＞3W/cm2）
用HF/H?O混合液（1：100）擦拭石英窗恢復透光
??故障三：工藝終點失控（過刻蝕損傷基底）??
???致命信號??：
①光學發射譜（OES）483nm（CO*特征峰）監測失效
②殘余氣體分析儀（RGA）基線漂移＞10%
??根治方案??：
校準OES光路：用標準汞燈驗證波長精度±0.1nm
RGA執行電子倍增器除氣（250℃/4小時）
增加二次終點校驗：紅外測溫監控晶圓溫升拐點
??故障四：顆粒污染暴增（＞50顆/wafer）??
???關鍵污染源??：
①腔壁剝落物（尤其鋁電極表面陽極氧化層龜裂）
②傳輸機械手摩擦碎屑（陶瓷涂層破損）
③聚合物“雪花”效應（氣壓突變導致副產物脫落）
??深度清潔流程??：
腔體拋丸處理：0.3mm氧化鋁顆粒沖擊重建表面
機械手關節涂覆二硫化鉬潤滑層
工藝后緩釋降壓（速率＜10Torr/秒）
??故障五：真空系統癱瘓（抽速降低30%）??
???典型癥候??：
①分子泵軸承過熱（＞100℃）
②機械泵油乳化（水分含量＞500ppm）
③粗抽閥卡滯（開合延遲＞3秒）
??重生維護??：
分子泵拆解：更換氮化硅陶瓷軸承（壽命＞50000小時）
加裝油霧分離器+冷凍式空氣干燥機
電磁閥線圈阻抗測試（標準值35±2Ω）
??故障六：尾氣處理異常（有毒氣體泄漏）??
???危險警報??：
①裂解爐溫度驟降（＜700℃導致CF?未分解）
②堿性吸附劑飽和（pH值從13跌至8以下）
??安全保障改造??：
紅外熱像儀掃描裂解爐保溫層，修補650℃高溫區隔熱棉
吸附塔壓差監測＞50kPa時強制再生循環
增配激光氣體分析儀（TDLAS）實時檢測HF泄漏

作者: 余額不足 時間: 2025-11-3 13:52
這個應用場景很廣泛。

作者: 333 時間: 2025-11-26 21:52
謝謝樓主毫無保留的分享，讓我們在工作中多了新方向～

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