性能/參數 | MC系列質量流量控制器 |
流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
標定氣體 | 內置90條氣體可選擇 |
精度(調零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
高精度(調零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
重復性 | ±0.2%FS |
漂移(零點/滿量程) | 0.02% F.S/oC/Atm |
工作范圍 | 0.5- |
響應時間 | 100毫秒(調整) |
啟動預熱時間 | 1秒內 |
標準工況 | 25oC & 14.696 psia，可自定義修改 |
工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) |
工作壓力 | 10Bar |
安裝方向 | 任意 |
閥門狀態 | 常閉 |
材質 | SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON |
顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度 |
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